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随着下一代通信标准的5G时代的到来和物联网的加速,万物互联,需要半导体的领域不断扩大。为了满足这些需求,我们正在努力改进半导体制造所需的精确温度控制技术和清洁一致的制造技术。我们的产品已被一些世界顶级半导体制造设备制造商采用,并以其高质量和细致的响应赢得了极大的信任。我们满足制造下一代半导体器件所需的先进热处理技术的需求。
扩散炉加热器用于半导体制造的晶圆工艺(预处理)中的热处理。随着工艺的小型化和晶圆直径的增加,需要微调的温度控制功能。
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